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    產(chǎn)品優(yōu)勢
    
        
    
        
    
                        
    
                
    
                    全自研解決方案
                
    
                
    
                    
    全自研解決方案
    
                    
    大氣手、Aligner、SMIF，Loadport等核心部件均自主研發(fā)
    
                
    
            
    
                        
    
                
    
                    尺寸多樣性
                
    
                
    
                    
    尺寸多樣性
    
                    
    有包括TSS系列的產(chǎn)品，有1-4工位多種產(chǎn)品
    
                
    
            
    
                        
    
                
    
                    符合SEMI標準
                
    
                
    
                    
    符合SEMI標準
    
                    
    已通過SEMI S2 F47 認證
    
                
    
            
    
                        
    
                
    
                    兼容性強
                
    
                
    
                    
    兼容性強
    
                    
    可根據(jù)用戶的實際需求進行非標定制
    
                
    
            
    
                     
        
    
    
    
        
    
        
    
            
    產(chǎn)品參數(shù)
    
        
    
        
    
                        
    
                
    晶圓尺寸
    
                
    3 " 4 " 6 " 8 " 12 "
    
            
    
                        
    
                
    Loadport數(shù)量
    
                
    1 / 2 / 3 / 4
    
            
    
                        
    
                
    機械手重復精度
    
                
    ≤ ±0.1mm
    
            
    
                        
    
                
    晶圓傳輸量WPH
    
                
    ≥200
    
            
    
                     
        
    

    
    
    

    



    
    
    
    
    
        
    
            
    
                
            
    

            
    
                下載信息驗證
            
    

            
    
                
    
                    

                
    
                
    
                    

                
    
                
    
                    

                
    
                
                
    
                    

                
    

                
    
                    

                
    

                
    
                    

                
    
                
    
                    
                
    
            
    
        
    
    
    

    



    
    
    
    
    
    
        
    
            
        
    

        
        
    

        
    
    
    

    








    


    
    
        
    
        
    服務熱線
    
        
    
            
    400-800-8666
    
        
    
        
         
        
        
    
        
    業(yè)務咨詢
    
                
   
        
    
    
        
    
        
    公眾號
    
        
        
    
    
        
        
    
        
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