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    產(chǎn)品優(yōu)勢
    
        
    
        
    
                        
    
                
    
                    一體成型設(shè)計
                
    
                
    
                    
    一體成型設(shè)計
    
                    
    整機一體成型設(shè)計
    
                
    
            
    
                        
    
                
    
                    自主研發(fā)
                
    
                
    
                    
    自主研發(fā)
    
                    
    自主研發(fā)FTR機械手，適配多類型300mm FOUP
    
                
    
            
    
                        
    
                
    
                    搭載雙口開盒器
                
    
                
    
                    
    搭載雙口開盒器
    
                    
    后端搭載雙口開盒器（FIMS），實現(xiàn)Front N2 purge
    
                
    
            
    
                        
    
                
    
                    可選配
                
    
                
    
                    
    可選配
    
                    
    可選配Shelf N2 purge
    
                
    
            
    
                     
        
    
    
    
        
    
        
    
            
    產(chǎn)品參數(shù)
    
        
    
        
    
                        
    
                
    負載
    
                
    ≤10kg
    
            
    
                        
    
                
    重復位置精度
    
                
     ±0.1mm
    
            
    
                        
    
                
    工位數(shù)
    
                
    18
    
            
    
                        
    
                
    振動
    
                
    ≤0.45g
    
            
    
                     
        
    

    
    
    

    



    
    
    
    
    
        
    
            
    
                
            
    

            
    
                下載信息驗證
            
    

            
    
                
    
                    

                
    
                
    
                    

                
    
                
    
                    

                
    
                
                
    
                    

                
    

                
    
                    

                
    

                
    
                    

                
    
                
    
                    
                
    
            
    
        
    
    
    

    



    
    
    
    
    
    
        
    
            
        
    

        
        
    

        
    
    
    

    








    


    
    
        
    
        
    服務(wù)熱線
    
        
    
            
    400-800-8666
    
        
    
        
         
        
        
    
        
    業(yè)務(wù)咨詢
    
                
   
        
    
    
        
    
        
    公眾號
    
        
        
    
    
        
        
    
        
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