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大氣機械手Blade D系列
大氣機械手是用于半導體制造中晶圓傳輸?shù)年P鍵設備，新松大氣機械手具有高潔凈等級、高速傳片及具有碰撞保護功能，擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)，可以迎合個性化設計末端執(zhí)行器及定制接口。手臂采用先進的結(jié)構(gòu)加強了手臂的剛性，并有效抑制振動，輕量化設計滿足高速要求，是半導體行業(yè)的優(yōu)勢之選。
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晶圓傳輸機器人
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大氣機械手Blade D系列
產(chǎn)品優(yōu)勢
質(zhì)量可靠
高品質(zhì)零部件，精密裝配，嚴格檢驗，高壽命
個性化設計
用戶可定制手指及接口
符合SEMI標準
Blade系列大氣機械手已通過SEMI認證
全自研解決方案
核心部件自主研發(fā)
產(chǎn)品參數(shù)
晶圓尺寸
3 " 4 " 6 " 8 " 12 "
機械手重復精度
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